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用戶蝕刻壓電薄膜電極
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發布時間:2016/4/29 14:16:21 | 瀏覽次數:

MSI即可買到銀墨絲網印刷圖形電極也可買到真空濺射鍍膜圖形電極,有時, 客戶采購完全金屬化的片材用于實驗,制做他們自己想要的電極.這對絲網印刷銀墨是困難的,因為不容易腐蝕和機械編織. 對真空濺射鍍膜電極, 標準的光刻技術非常好.

 

    為在壓電膜上制導電圖形穿透而不短路上下電極, 可采用真空沉積電極法(注意: 不是為銀墨推薦的).

 

    電源(9V電池)的一端通過一個導電焊盤或機械壓力連接到薄膜上.另一端連到導電點(,導線端子等)需要隔離的部分拖在周圍即可, 通常有效電流通過并在接觸點產生電弧, 金屬化層被蒸發. 同心保護環用以曾加可靠性.

 

    對薄真空濺射鍍膜金屬化更復雜的圖形, 用感光氣溶膠(如果需要在兩面)噴涂壓電薄膜是可能的.固化的感光氣溶膠可通過掩模由UV(紫外)光曝光,象傳統的PCB技術那樣, 然后浸入腐蝕劑。非常薄金屬層的蝕刻過程僅需幾秒即可完成。

 

    用標準PCB腐蝕劑(三氯化鐵)進行銅/鎳金屬化蝕刻是很好的. 要得到較好的結果,其它金屬需要特殊的腐蝕劑(對金用王水).切記金屬化層可能只有幾百個埃(300~700A), 因而細圖形極易造成劃痕和裂紋.

 

 
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