電容式傳感器的納米-納米定位 電容式傳感器可實現(xiàn)短距離納米級分辨率。該傳感器以舞臺結(jié)構(gòu)為目標，比線性編碼器緊湊得多。電容式傳感器以激光測距干涉儀成本的一小部分提供亞納米級分辨率。 電容式傳感器從微觀意義上的理想提供位置反饋的壓電馬達或音圈驅(qū)動的納米應用，以及傾斜機構(gòu)位置傳感器。它們可以用作伺服回路中的反饋傳感器，也可以用作獨立位置傳感器。納米定位通常是一個、兩個或三個軸定位器在幾百微米的順序每軸提供旅行。納米定位一般彎曲的方式從金屬固體塊加工建造，以提供最小的離軸運動很純粹的運動。執(zhí)行器要么是壓電馬達，要么是音圈。電容傳感器提供以下優(yōu)點作為納米定位反饋裝置： 效益 電容傳感器的分辨率在納米級。 對于掃描應用，電容傳感器提供了非常線性，并消除與光學編碼器相關的周期性誤差。 對于要求位置穩(wěn)定的應用，電容傳感器非常穩(wěn)定，可以用基本上零散熱的材料制造。 用于快速工具伺服的高帶寬電容傳感器 快速刀具伺服反饋sensorfast機床伺服系統(tǒng)中使用的各種加工應用到機器的非旋轉(zhuǎn)對稱面和創(chuàng)造各種表面結(jié)構(gòu)。快速刀具伺服是一種高性能的線性致動器，使工具在特定帶寬刀架模塊。 從微觀意義上的電容傳感器，用于提供伺服系統(tǒng)的反饋，提供高帶寬和快速刀具伺服應用程序所必需的高分辨率。我們的模型8810可用帶寬高達20千赫。
