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SOS藍寶石上的硅作為制造智能壓力傳感器
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發布時間:2020/1/28 10:51:44 | 瀏覽次數:

1.SOS藍寶石上的硅作為制造智能壓力傳感器的材料有哪些優點?
 答:1)耐熱性好、彈性強度高、絕緣性好(工作溫度高);(2)異質外延式硅應變電阻沒有p-n結,且為均質攙雜(絕緣阻抗高);(3)可將藍寶石牢固地焊接在金屬和陶瓷上(結構多樣化);(4)SOS結構抗輻射能力強。
 問:2.鈦/硅-藍寶石壓力傳感器為什么可耐高溫?

 

 答:A、選材    藍寶石是單晶體鋁氧化物,是所有氧化物晶體中最硬的,是理想的絕緣體。它具有十分優良的耐高溫化學惰性、電敏感性和絕緣性。藍寶石利用自身原子外延的方式,形成純凈的單晶結構。由于在1000℃的溫度范圍內,藍寶石是理想的絕緣體。因此,硅電阻敏感電橋電路的壓敏電阻即使在最高溫度下,也不會發生短路。

 

      B、工藝措施    為適應高溫條件下的使用,不采用金絲作為電路觸點,因為金絲在200℃的溫度下,會同硅形成易熔質,所有硅接點都采用鋁制。同時,在500℃的范圍內,硅(選用很強的合金硅)并不改變自身的彈性特點。將藍寶石熔焊在鈦合金上,必須在850℃左右的溫度范圍下進行,這就使得鈦合金在高溫狀態下依然具有很好的工作特性。因此,所有使用SOS(藍寶石上的硅)結構制成的傳感器可以在不高于350℃(敏感元件在此溫度也是如此)和500℃的溫度條件下工作。

 

      C、從結構上考慮    使用雙耐高溫鈦合金膜片和硬桿連接傳感器時,傳感器內部硅-藍寶石敏感元件處于低溫區,大大低于介質溫度。所以使鈦/硅-藍寶石傳感器可以適應高溫環境條件下工作。

 問:3.鈦/硅-藍寶石壓力傳感器為什么可測量粘稠和腐蝕性介質?

 

 答:為了測量粘稠和腐蝕介質,鈦/硅-藍寶石壓力傳感器在結構上采用鈦合金開放、干式、純平膜的結構形式。例如MIDA-MG-41和MIDA-MG-42,粘稠液、結晶、粉塵介質只與平膜片接觸,而不與鈦合金測量膜片和硅-藍寶石敏感元件直接發生接觸。此外,鈦及其合金(WTi4和WTi9)本身就是很好的耐腐蝕性材料,在海水中它比不銹鋼(316L)還要穩定。當變送器在使用時,只是上述的開放、干式、純平感壓鈦合金膜片同被測腐蝕介質接觸,所以可用來直接測量粘稠和腐蝕性介質。還可根據用戶的特殊要求,定制其他材質的感壓膜片(如鉭膜片等),用來測量氫或硫化氫等強腐蝕性介質。薄膜壓力傳感器怎么用,柔性壓力傳感器,薄膜壓力傳感器,柔性薄膜壓力傳感器,薄膜壓電傳感器,薄膜電容傳感器,TEKSCAN,I-SCAN,Tactilus,物聯網傳感器,電子傳感器,傳感器結構,步態分析系統,壓力分布,薄膜壓力傳感器原理,柔性壓力傳感,壓力傳感器模塊,電阻式壓力傳感器,柔性薄膜,仿生傳感器,柔性壓力傳感器,傳感器電纜,壓力傳感,壓電加速度傳感器,壓電式加速度傳感器,水壓壓力傳,觸覺傳感器,表面肌電,運動捕捉系統,上海壓力分布,握力傳感器,輥輪,步態分析儀,肌電,智能壓力傳

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 問: 4.鈦/硅-藍寶石壓力傳感器為什么抗輻射性強?
 答:這是由SOS(藍寶石上的硅)的獨特結構決定的。硅-藍寶石半導體敏感元件最大優點是:藍寶石是極好的絕緣體,無P-N結漂移,敏感電阻間不存在擊穿電流,對溫度變化不敏感,即使在高/低溫條件下,也保持著很好的穩定特性。由于在高溫熔煉時采用特殊工藝,因此傳感元件的敏感度不受γ射線或中子輻射的影響,即:傳感器信號在恒壓供電的條件下,SOS壓敏電阻橋能夠承受較大劑量的中子射線或γ射線,具有一定的抗輻射能力。因此,特別適合核工業等領域使用。

 問:5.MIDA系列鈦/硅-藍寶石壓力傳感器OEM件材質的說明。

 答:俄羅斯鈦/硅-藍寶石壓力傳感器引壓嘴的材質為12X18H10T(與我國相對應的型號1Cr18Ni11Ti)

 
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