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汽車應用的壓力傳感器
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發布時間:2022/8/6 16:45:56 | 瀏覽次數:

或者當我第一次遇到傳感器行業的人時,我往往會講一些故事。這些故事的范圍和細節因游客的興趣或場合而異。我想講述硅谷基于硅的傳感器的一些歷史,并給出一些我們過去研究的應用實例。這通常會引發一些共同點,我們可能有共同的興趣、人或其他經驗可以分享。我將通過這封新聞信來分享其中的一些信息。

 

 

飛兆半導體時代

 

出于所有實際目的,我直接參與了硅谷的第一個硅傳感器工作。負責將傳感器技術引入該地區的人是Art Zias。阿特是貝爾實驗室的技術作家,50年代末還是一名工科學生。硅和鍺中的壓阻物理源自貝爾的Phan、Thurston和Smith的工作,并由Art編年史。Art在50年代還曾在紐約主要工作室擔任專業薩克斯風演奏員。用他自己的話來說,“我有足夠的技能與頂級爵士樂藝術家一起演奏,但沒有足夠的天賦與他們并駕齊驅。”Pfann的作品啟發了藝術,讓硅傳感器成為終身職業。Bill Pfann當時發表的評論不僅啟發了藝術,而且可能定義了這個行業,“現在我們已經研究了半導體中的換能效應以消除它們,也許它們是有用的。”

 

 

1960年,阿特加入通用電氣,在與霍尼韋爾的一場關于固態運動轉換的空軍(WADC)合同競爭中獲勝。這促使托尼·庫爾茨離開霍尼韋爾,找到了庫利特。1964年,阿特加入霍尼韋爾創辦了固態電子中心(SSEC)。在60年代,Art領導SSEC為航空航天、工業和微動開關部門開發壓阻式加速度計和壓力傳感器。漢斯·凱勒當時是SSEC的物理學家。他后來在瑞士創立了凱勒·德魯克梅斯技術公司。1969年,阿特加入前霍尼韋爾公司的唐·林納姆,擔任飛兆半導體相機與儀器公司傳感器運營部的工程總監。吉恩·伯克很快離開霍尼韋爾加入了Art。Art將大塊硅微加工的原始工作歸功于吉恩。在Gene的工作之前,傳感器并沒有包括三維結構,只有平面結構。1971年,唐、阿特和吉恩·伯克離開了飛兆兒童,在飛兆兒童的祝福下成立了IC傳感器(現為Foxboro ICT)。

 

 

1972年,Art和Bill Hare在沒有飛兆半導體的支持下成立了國家半導體公司的傳感器運營部。除信通技術外,飛兆半導體還繼續致力于汽車應用。飛兆半導體希望開發一種歧管絕對壓力傳感器,其技術類似于點火模塊,基于硅壓阻技術。隨著阿特的離開,這項努力停止了。National和Fairchild卷入了一場關于藝術離開性質的法律糾紛。飛兆半導體剩下的技術賣給了鮑勃·胡德,成為了認知公司,最終賣給了艾默生電氣,從此再也聽不到了。

 

 

1973年,我在費爾柴爾德半導體公司(Fairchild Semiconductor)的一位共同朋友兼工程師里克·沙夫津(Rick Schaffzin)安排的一次高爾夫郊游中遇到了阿特。里克在80年代成為IC傳感器的總裁。阿特的高爾夫揮桿很糟糕。最好是一個剛學會游戲的人在藝術搖擺時把目光移開,以避免瑪土撒拉詛咒。有傳言說,看到藝術的搖擺可能會讓人變成鹽柱。

 

 

在飛兆半導體,我們使用德爾科電子開發了第一個固態點火模塊,在生產高峰期每周出貨50000個模塊。我是汽車和其他混合動力產品的工藝和產品工程師。工程經理是現任Altera總裁羅德尼·史密斯。

 

 

國家半導體日

 

70年代初,硅谷唯一的商業硅傳感器作品是Art的作品(剛剛在國家半導體公司開始),Don Lynam在IC傳感器公司(也剛剛開始),以及Fairchild的作品(即將完成認知)。在世界其他地方,還有其他商業活動,霍尼韋爾微開關公司、瑞士凱勒公司的漢斯·凱勒公司、新澤西州的庫利特公司和歐洲的菲利普斯公司都在繼續開展這項工作。最大的研究工作是在美國的大學。凱斯韋斯特大學、When Ko博士、Kendall Wise博士領導的斯坦福大學以及卡內基梅隆大學的約翰·格拉格都做出了重大努力。由于潛在的汽車應用,國家半導體希望進入這一行業。國家管理層要求阿特解釋“轉換”。阿特告訴他們,他將用最簡單的術語來解釋,他們可以用最好的術語來描述。他將轉導描述為吸收硅的能力由于潛在的汽車應用,國家半導體希望進入這一行業。國家管理層要求阿特解釋“轉換”。阿特告訴他們,他將用最簡單的術語來解釋,他們可以用最好的術語來描述。他將轉導描述為獲取硅并將其轉化為貨幣的能力。這吸引了National,Art被雇傭,National十年的傳感器工作即將開始。藝術更準確地描述了當時的情況,因為圍繞這一說法發生的事件也讓我們深入了解了當時國家半導體公司的特點。

 

 

在70年代中期,我負責所有National混合動力產品的營銷,包括傳感器。當時,汽車公司正在大力開發汽車地圖傳感器。在National,我們與德爾科電子和福特合作,共同開發了兩種地圖傳感器。德爾科版本的傳感器芯片類似于當時的霍尼韋爾傳感器芯片,封裝在與飛兆半導體點火模塊類似的外殼中。該產品及其版本仍由德爾科和其他售后供應商生產。該傳感器的類似版本已為世界上所有其他主要汽車公司開發,其規格為事實上的行業標準。福特版是一款硅可變電容壓力傳感器。今天它仍然由福特和摩托羅拉生產。然而,它沒有被任何其他汽車制造商使用。它比壓阻型更昂貴。還有其他厚膜混合MAP傳感器也服務于該市場。

 

 

1977年,我與Kulite工程副總裁喬·馬隆(Joe Mallon)一起參加了西雅圖的傳感器靶場指揮官會議。當時,喬在硅壓阻式壓力傳感器處理方面擁有大量專利(1983年,喬、庫爾特·彼得森和賈努斯·布里澤克成為了Novasensors的聯合創始人;稍后會有更多相關內容)。我在這次會議上認識了喬,發現他是當時最有知識的人,對硅中壓力傳感器的半導體工藝所產生的溫度效應非常了解。即使在今天,大多數公司仍參考他的原始工作,確定硅中摻雜劑的適當濃度水平,以設置電阻和靈敏度的溫度系數。

 

 

1978年,我參加了舊金山的Semico West,參加了Janusz Bryzek關于硅壓力傳感器離散溫度補償的“Herr Doktor”演講。Janusz提出了一種電路,它至少有20個放大器、幾百個電阻器和許多電位器。這是我見過的最復雜的溫度補償方案,真是一個技術奇跡。一位聽眾問他:“Doktor Bryzek,這么多組件的補償有什么錯誤?”Janusz毫不猶豫地回答:“沒有錯誤,它……是完美的!”當時我覺得他很可能是對的,但不知道他會如何測試(工程師的心態,而不是營銷心態)。從這次會議上我認識了Janusz。

 

 

在同一時期,美國醫院用品公司向國家采購了一個5美元的一次性血壓傳感器。第一項工作開始于今天,很可能是世界上僅次于汽車地圖傳感器的第二大壓力傳感器應用。

 

 

1977年的《國家半導體傳感器手冊》成為傳感器行業的參考書。這本書的大部分章節仍然與Sensym手冊的每一次重印一起重印。本手冊仍然是壓力傳感器的首選參考書。1977年的手冊是獨一無二的,因為每一節都有一個不尋常的介紹性標題和序言,包括“尖叫的小豬”,一節關于聲學測量,一節關于信號調節。這本書是Art、Ray Pitts和我自己多年工作的成果,他是物理學博士,當時正在查閱和改寫《圣經》。雷是主要貢獻者。他在國家電視臺的故事有一個不幸的結局,此后不久他的生活也有一個悲慘的結局。

 

 

1980年,我成為了National和Art Zias的換能器產品運營總監,Zias向我匯報。這對我們所有人來說都是一個充滿挑戰和歡樂的時期,因為Art讓每個人都保持警覺和娛樂。除了工程學,Art在國家半導體年度銷售會議上擔任儀式大師,并將我作為他的許多軼事的傳聲筒。他最令人難忘的故事之一是關于國家半導體公司創始人兼首席執行官查理·斯波克的。針對當時金融分析師對他的批評,查理發表聲明,“他會咬腹股溝,吐睪丸。”阿特在提到這一聲明時對數百名本國雇員和銷售代表的聽眾說,“這是真的。Art在提到這一聲明時對數百名國家雇員和銷售代表的聽眾說,“這只是為了向你展示憤怒的富人可以發展出奇怪的美食戀物癖。”傳感器業務的章程旨在確定在短時間內將業務發展到1億美元所需的條件。當時我不知道,但唯一的選擇是退出這家公司。

 

 

美國國家半導體公司是從事傳感器操作的知名人士。

 

最著名的是Mike Scott,他是1974年至1979年間混合動力和傳感器產品的運營總監。在此期間,我向Mike匯報了工作,他是最有知識的營銷人員,可能是我見過的最聰明的人。邁克曾在費爾柴爾德為邁克·馬庫拉工作,他離開國家隊成為蘋果電腦公司的第一任總裁,并于1983年離開蘋果公司,當時他和史蒂夫·喬布斯的看法不一樣。蘋果董事會主席馬庫拉選擇了史蒂夫而不是邁克。邁克此時帶著800萬股蘋果股票離開了蘋果公司,從此過得很愉快。他確實在衛星發射業務中有過一次嘗試,他們的第一顆衛星和公司StarStrike發射失敗。他們的衛星概念具有相當大的技術吸引力。但最終,他們有了一次昂貴的乘船旅行,他們的衛星和投資永遠消失在太平洋深處。Floyd Kvamme是National的營銷和銷售副總裁。皮埃爾·拉蒙德負責研發。弗洛伊德和皮埃爾今天在風險投資界都非常有名。在國家半導體公司,我們的半導體工廠加工是在鮑勃·斯旺森領導的線性小組中進行的。Bob離開National時,帶著一個由National linear員工組成的團隊,創辦了linear Technology,這是一家今天利潤豐厚的半導體公司。他們的離開導致查利·斯波克對該組織提起法律訴訟,因為在離開前的一段時間里,他們每天在自助餐廳交談“似乎”很不尋常。尤其是因為他們在此之前從未參加過社交活動。布蘭特·韋林(Brent Welling)是Linear的聯合創始人之一,我曾為他在National工作過一段時間,后來他加入了Sensym,擔任營銷和銷售副總裁。

 

 

在國家實驗室,我是他們電子語法委員會的成員,有機會參觀了斯坦福大學的一個傳感器小組。肯德爾·懷斯是這項工作的負責人,即將離開密歇根大學,組建一個傳感器研究項目。我遇到了吉姆·克努蒂,他參與了由國家衛生研究所資助的用于監測綿羊身體功能的植入集成注射邏輯、組合壓力和溫度傳感器。吉姆后來(1984年?)與亨利·艾倫博士和他們兩人一起工作創立了一家使用硅制造力傳感器的公司,Art早些時候出版了《機器人的指尖》。這家公司Transsensory Devices Inc被IC sensors收購,Jim和Henry留在了IC sensors。Jim在收購后不久離開,并與Ascom在瑞士開始了傳感器操作。Ascom最終被出售,他們的工廠發生火災,最終他們退出了這項業務。Henry加入了Jim,與Ascom的合作使他們兩人于1992年開始制作硅微結構。1995年,Exar收購了SMI,Jim和Henry繼續活躍于SMI/Exar。他們在硅應力集中、建模以及低壓裝置和加速度計的硅結構方面做了一些非常好的工作。

 

 

感官的日子

 

1982年,我向國家管理層做了一次陳述,指出在可預見的未來,預計傳感器業務將變成1億美元的業務是不現實的,之后我被指示出售該業務。當時約翰·奈斯海姆是國家銀行的財務主管,在這一過程中為我提供指導。約翰后來與電視名人Art Linkletter一起成立了管理部,并寫了幾本關于風險投資融資的書。當時我的營銷經理是曼尼·奈克,現在是集成傳感器解決方案的總裁。曼尼和我與喬·馬隆談過,我們三人考慮了如何自己進入這一行業。我們決定邀請賈努斯·布里澤克也參加討論。在多次會議之后,我們可以說,我們無法就公司的結構達成一致(“總裁辦公室”后來在Novasensors采用,我對此不感興趣),我決定提議對National的運營進行杠桿收購,Janusz將加入我們,擔任工程副總裁。

 

 

Manny留在了National,后來離開并找到了集成傳感器解決方案。ISS目前活躍于汽車應用的壓力傳感器領域,并與日本、德國和美國的公司建立了戰略合作關系。毫無疑問,曼尼是最好的媽媽”

 
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